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特點: |
| 全功能整合式LCD TOUCH PANEL控制系統(WITH PLC CONTROL) 到達真空度:低於1 Torr，溫度:MAX.200℃ 智慧型程式輸入功能，可供user依不同製程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。 程式自動監測並檢知設定運轉狀態,完善的連環式保安設施,絕無安全顧慮 HMDS密閉式自動吸取添加設計。 10組程式記憶及自我診斷,故障顯示及排除指示功能 單獨烤箱密閉性測試功能，確保HMDS無外漏顧慮。 可容納4吋晶圓8組CASSETTES |
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規格: |
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2.阿摩尼亞機種規格相同 |
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